化學(xué)上，如果一種物質(zhì)在整體組成中含量在百萬分之一以下，那它就是痕量。除了氮、氧、氬、二氧化碳，還有一些總體僅占0.003%的其他氣體，都被統(tǒng)稱為痕量氣體。不同于傅里葉變換紅外光譜（FTIR）、非分散紅外光譜（NDIR）這些“紅外光譜”同門，紅外激光光譜配置的不是寬帶光源，而是高單色性的紅外激光。有著更高的光譜分辨率、可以實現(xiàn)長光程檢測、不需要額外分光部件，儀器能夠進(jìn)一步小型化等等優(yōu)點。

 

　　痕量氣體檢測對于很多領(lǐng)域都有著非常重要的作用，比如大氣環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)過程監(jiān)測、燃燒流場診斷、人體呼吸氣體檢測等等。而紅外光譜為分子的振動躍遷光譜，因此在檢測技術(shù)中，“紅外激光光譜法”是目前受到較多關(guān)注的主流方法之一。

 

　　痕量氣體分析儀對傅里葉變換紅外(FTIR)和光聲光譜(PAS)原理進(jìn)行了改進(jìn)，采用靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級聯(lián)激光（QCL），在中紅外光譜吸收線上，監(jiān)測氣體分子，提供了ppb級高精度，高穩(wěn)定性，延長校準(zhǔn)周期到12個月，減少了人力物力維護(hù)成本，以滿足現(xiàn)代測量市場的需求。

 

　　痕量氣體分析儀的超靈敏懸臂式麥克風(fēng)，即使是在基本振動頻段微弱的泛音下，運行低成本通信二極管激光器，也能實現(xiàn)高靈敏度。另一方面，與高功率中紅外量子級聯(lián)激光器的組合提供了其他方法無法達(dá)到的檢出限。在可調(diào)諧二極管激光光聲光譜學(xué)中，選擇了激光波長，因此只使用了對目標(biāo)分子具有特性的單一吸收線，這允許高度選擇性測量。激光的功率密度高，允許高靈敏度和短響應(yīng)時間。通過可調(diào)諧二極管激光器，通過吸收線進(jìn)行波長調(diào)制，以減少背景信號。